Piezoresistliku anduri struktuur

Selles anduris integreeritakse takistiriba monokristallilisele räni diafragmale integreerimisprotsessi abil, et valmistada räni piezoresistive kiip, ja selle kiibi perifeeria on kindlalt kooresse pakendatud ja elektroodide juhtmed suunatakse välja. Piezoresistive rõhuandur, mida tuntakse ka kui tahkis-rõhuandurina, erineb kleepuvate tüve gabariidist, mis peab tunduma kaudselt elastsete tundlike elementide kaudu kaudselt välist jõudu, kuid tunneb otseselt mõõdetud rõhku räni diafragma kaudu.

Räni diafragma üks külg on kõrgsurveõõnsus, mis suhtleb mõõdetud rõhuga, ja teine ​​pool on atmosfääriga suhtlev madala rõhuga õõnsus. Üldiselt on räni diafram kujundatud fikseeritud perifeeriaga ringina ja läbimõõdu ja paksuse suhe on umbes 20 ~ 60. Nelja P -i lisandite takistuse ribad hajutatakse lokaalselt ümmargusel räni diafragmil ja ühendatakse täissillaga, millest kaks on tihedast pingetoonis ja Diagm -is.

Lisaks on olemas ka ruudukujuline räni diafragma ja räni kolonni andur. Ränisilindriline andur on valmistatud ka takistusribadest difusiooni teel räni silindri kristalltasandi teatud suunas ning kahele tõmbepinge takistusribale ja kahele survepinge takistusribale moodustavad terve silla.

Piezoresistiivne andur on seade, mis on valmistatud difusioonitakistusega pooljuhtmaterjali substraadil vastavalt pooljuhtide materjali piezoresistlikule toimele. Selle substraati saab otse mõõteandurina kasutada ja difusioontakistus on substraadis ühendatud silla kujul.

Kui substraat on deformeerunud välise jõu abil, muutuvad takistuse väärtused ja sild annab vastava tasakaalustamata väljundi. Piezoresistlike anduritena kasutatavad substraadid (või diafragmad) on peamiselt räni vahvlid ja germaaniumi vahvlid. Räni vahvlitest valmistatud räni piezoresistlikud andurid, kuna tundlikud materjalid on üha enam tähelepanu pälvinud, eriti kõige laialdasemalt kasutatavaid tahkis-piezoresistlikke andureid rõhu ja kiiruse mõõtmiseks.