Rõhuandur on üks levinumaid andureid. Traditsiooniline rõhuandur on peamiselt mehaaniline struktuuriseade ja elastse osa deformatsioon näitab rõhku. Kuid nende suuruse ja kaalu tõttu ei saa nad elektrit toota.

Pooljuhtide tehnoloogia arendamine on viinud ka pooljuhtide rõhuandurite tekkimiseni. Seda iseloomustavad väikesuurus, kerge kaal, kõrge täpsus ja hea temperatuuri jõudlus. Eriti MEMS -tehnoloogia väljatöötamisel arenevad pooljuhtide andurid miniaturiseerimise, madala energiatarbimise ja kõrge usaldusväärsuse suunas.

Rõhuandurite roll

1. otse erineva rõhu mõõtmiseks: õhurõhk, hüdrauliline rõhk, hüdrauliline rõhk (sealhulgas hüdrauliline rõhk), erinev vererõhk igapäevaelus jne;

2. Surveandureid kasutatakse autodes, mõned eliitmootorrattad ja peaaegu kõik sisepõlemismootorid;

3. vedelikutase: vedeliku erineva taseme mõõtmiseks kasutatav põlluseadmed on peamiselt rõhuandurid;

4. Enamik elektroonilisi kaalusignaale ja sõiduki kaalusignaale pärineb rõhuanduritest.

Rõhuandureid kasutatakse peamiselt teatud rakenduste juhtimiseks ja jälgimiseks. Autotööstuses kasutatakse MEMS -i rõhuandureid peamiselt kütuserõhu, rehvirõhu, turvapadja ja torustiku rõhu mõõtmiseks. Biomeditsiinilises valdkonnas kasutatakse MEMS -i rõhuandureid peamiselt diagnostika- ja tuvastussüsteemides; Lennunduses kasutatakse MEMS -i rõhuandureid peamiselt kosmoselaevade ja kosmoselaevade positsiooni juhtimiseks;