Sobib Hitachi KM11 õlisurveandurile EX200-2-3-5

Neli rõhuanduri rõhutehnoloogiat

1. mahtuvuslik

Mahtuvuslikke rõhuandureid eelistavad tavaliselt suur hulk OEM -i professionaalseid rakendusi. Mahtuvuse muutuste tuvastamine kahe pinna vahel võimaldab neil anduritel tunda äärmiselt madala rõhu ja vaakumi taset. Meie tüüpilises anduri konfiguratsioonis koosneb kompaktne korpus kahest tihedalt asetsevast, paralleelsest ja elektriliselt eraldatud metallpinnast, millest üks on sisuliselt diafragma, mis võib kergelt rõhu all painutada. Need kindlalt fikseeritud pinnad (või taldrikud) paigaldatakse nii, et koostu painutamine muudab nendevahelist lõhet (moodustades tegelikult muutuva kondensaatori). Saadud muutus tuvastatakse tundliku lineaarse komparaatori vooluringi abil (või ASIC), mis võimendab ja annab välja proportsionaalse kõrgetasemelise signaali.

2.CVD tüüp

Keemilise aurude sadestumine (või "CVD") Tootmismeetod seob polüsilikooni kihti roostevabast terasest diafragmaga molekulaarsel tasemel, tekitades seeläbi anduri suurepärase pikaajalise triivi jõudlusega. Polysilicon tüve gabariidi sildade loomiseks suurepärase jõudlusega väga mõistliku hinnaga kasutatakse tavalisi partiide töötlemise pooljuhtide tootmismeetodeid. CVD struktuur on suurepärane kulude jõudlus ja see on kõige populaarsem andur OEM -rakendustes.

3. pritsimisfilmi tüüp

Pritsimiskilede sadestumine (või "film") võib luua maksimaalse kombineeritud lineaarsuse, hüstereesi ja korratavusega anduri. Täpsus võib ulatuda kogu ulatusest 0,08%, samas kui pikaajaline triiv on igal aastal kogu ulatusest 0,06%. Peamiste instrumentide erakorraline jõudlus-meie pritsitud õhuke kileandur on survestunde tööstuse aare.

4.MMS tüüp

Need andurid kasutavad rõhu muutuste tuvastamiseks mikrotöötlusega räni (MMS) diafragmat. Räni diafragma eraldatakse söötmest õliga täidetud 316SS abil ja need reageerivad järjestikuselt protsessi vedeliku rõhuga. MMS -sensor võtab kasutusele tavalise pooljuhtide tootmistehnoloogia, mis võib saavutada kompaktses anduri paketis kõrge pingetakistuse, hea lineaarsuse, suurepärase termilise šoki jõudluse ja stabiilsuse.