Mootori rõhuandur 2CP3-68 1946725 Carteri ekskavaatori jaoks

Meetod rõhuanduri ettevalmistamiseks, mida iseloomustatakse järgmiste sammude moodustamisega:

S1, taga vahvli tagapinna ja esipinnaga; Moodustades vahvli esipinnal piezoresistliku riba ja tugevalt legeeritud kontaktpinna; Rõhu sügav õõnsus vahvli tagapinna söövitamise teel;

S2, ühendades tugilehe vahvli tagaküljel;

S3, vahvli esiküljel olevad pliiaugud ja metallist juhtmed ning piezoresistlike ribade ühendamine nisu silla moodustamiseks;

S4, passiivse kihi ladestamine ja moodustamine vahvli esipinnale ja passiveerimiskihi avamine, moodustades metallipadja. 2. rõhuanduri tootmismeetod vastavalt nõudele 1, kusjuures S1 koosneb konkreetselt järgmistest sammudest: S11: Vahvli tagamine tagapinna ja esipinnaga ning rõhutundliku kile paksuse määratlemine vahvlil; S12: ioonide implanteerimist kasutatakse vahvli esipinnal, piezoresistlikud ribad toodetakse kõrge temperatuuriga difusiooniprotsessiga ja kontaktpiirkonnad on tugevalt legeeritud; S13: kaitsekihi ladestamine ja moodustamine vahvli esipinnale; S14: survetundliku kile moodustamiseks surve sügava õõnsuse söövitus ja moodustamine. 3. rõhuanduri tootmismeetod vastavalt nõudele 1, kus vahvli on SOI.

1962. aastal Tufte jt. Valmistas esimest korda hajutatud räni piezoresistlike ribade ja räni kile struktuuriga piezoresistliku rõhuanduri ning alustas uurimistööd piezoresistliku rõhuanduri kohta. 1960. aastate lõpus ja 1970. aastate alguses tõi kolme tehnoloogia ilmumine, nimelt räni anisotroopne söövitustehnoloogia, ioonide implantatsioonitehnoloogia ja anoodsidemete tehnoloogia, rõhuanduris suuri muutusi, millel oli oluline roll rõhuanduri jõudluse parandamisel. Alates 1980. aastatest, nagu mikromasinate tehnoloogia edasise arenguga, näiteks anisotroopne söövitus, litograafia, difusiooni doping, ioonide implantatsioon, sidumine ja kattekiht, on rõhuanduri suurust pidevalt vähenenud, tundlikkus on paranenud ja väljund on kõrge ja jõudlus on suurepärane. Samal ajal muudavad uue mikromahtlik tehnoloogia väljatöötamine ja rakendamine kile paksuse rõhuanduri paksuseks täpselt.