Mootori rõhuandur 2CP3-68 1946725 ekskavaatorile Carter

Meetod rõhuanduri valmistamiseks, mida iseloomustab see, et see sisaldab järgmisi samme:

S1, pakkudes tagapinna ja esipinnaga vahvlit; Piezoresistiivse riba ja tugevalt legeeritud kontaktpinna moodustamine vahvli esipinnale; Survesügava õõnsuse moodustamine vahvli tagumise pinna söövitamise teel;

S2, tugilehe kinnitamine vahvli tagaküljele;

S3, mis valmistab vahvli esiküljel juhtmeauke ja metalltraate ning ühendab piezoresistiivseid ribasid Wheatstone'i silla moodustamiseks;

S4, vahvli esipinnale passiveerimiskihi sadestamine ja moodustamine ning passiveerimiskihi osa avamine, et moodustada metallpadja ala. 2. Rõhuanduri valmistamismeetod vastavalt nõudluspunktile 1, mis erineb selle poolest, et S1 sisaldab konkreetselt järgmisi etappe: S11: tagapinna ja esipinnaga vahvli varustamist ning rõhutundliku kile paksuse määramist vahvlil; S12: vahvli esipinnal kasutatakse ioonide implanteerimist, piezoresistiivseid ribasid toodetakse kõrgtemperatuurse difusiooniprotsessi abil ja kontaktpiirkonnad on tugevalt legeeritud; S13: vahvli esipinnale kaitsekihi ladestamine ja moodustamine; S14: söövitamine ja survesügava õõnsuse moodustamine vahvli tagaküljel rõhutundliku kile moodustamiseks. 3. Rõhuanduri tootmismeetod vastavalt punktile 1, mis erineb selle poolest, et vahvliks on SOI.

1962. aastal tegid Tufte jt. valmistas esimest korda piesoresistiivse rõhuanduri hajutatud räni piesotakistusribade ja räni kile struktuuriga ning alustas piesoresistiivse rõhuanduri uurimist. 1960. aastate lõpus ja 1970. aastate alguses tõi kolme tehnoloogia, nimelt räni anisotroopse söövitamise tehnoloogia, iooniimplantatsiooni tehnoloogia ja anoodse sidumistehnoloogia, ilmumine rõhuandurisse suuri muudatusi, mis mängisid olulist rolli rõhuanduri jõudluse parandamisel. . Alates 1980. aastatest on mikrotöötlustehnoloogia (nt anisotroopne söövitus, litograafia, difusioondoping, ioonide implanteerimine, sidumine ja katmine) edasiarendamisega rõhuanduri suurust pidevalt vähendatud, tundlikkust on paranenud ja väljund on kõrge ja esitus on suurepärane. Samal ajal muudab uue mikrotöötlustehnoloogia väljatöötamine ja rakendamine rõhuanduri kile paksust täpselt kontrollitavaks.