Kehtib Passati kütuse ühisanum rõhuandurile 06E906051K

1. Meetod rõhuanduri moodustamiseks, mis sisaldab:

Pooljuhtsubstraadi pakkumine, kus pooljuhtsubstraadile on moodustatud esimene kihtidevaheline dielektriline kiht, esimene kihtidevaheline dielektriline kiht ja teine ​​kihtidevaheline dielektriline kiht.

Alumine elektroodiplaat esimeses vahekihis dielektrilises kihis, esimene vastastikune elektrood, mis asub alumise elektroodiplaadiga samal kihil ja on üksteisest eemal.

Kihtide ühendamine;

Alumise polaarplaadi kohale ohvrikihi moodustamine;

Ülemise elektroodiplaadi moodustamine esimesele vahekihi dielektrilisele kihile, esimesele ühenduskihile ja kaitsekihile;

Pärast ohvrikihi moodustamist ja enne ülemise plaadi moodustamist esimeses ühenduskihis

Ühendussoone moodustamine ja ühendussoone täitmine ülemise plaadiga, et ühendada elektriliselt esimese ühenduskihiga;või

Pärast ülemise elektroodiplaadi moodustamist moodustuvad ülemises elektroodiplaadis ja esimeses ühenduskihis ühendussooned, mis

Ülemist elektroodiplaati ja esimest ühenduskihti ühendava juhtiva kihi moodustamine ühendussoones;

Pärast ülemise plaadi ja esimese ühenduskihi elektrilist ühendamist ohverduskihi eemaldamine õõnsuse moodustamiseks.

2. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudluspunktile 1, mis erineb selle poolest, et esimeses kihis

Kihtidevahelise dielektrilise kihi ohvrikihi moodustamise meetod hõlmab järgmisi samme:

Ohverdatava materjali kihi asetamine esimesele vahekihi dielektrilisele kihile;

Ohvrimaterjali kihi mustri tegemine ohvrikihi moodustamiseks.

3. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt punktile 2, mis erineb selle poolest, et kasutatakse fotolitograafiat ja graveerimist.

Ohverdatava materjali kiht on mustriline söövitamise teel.

4. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudluspunktile 3, mida iseloomustab see, et kaitsekiht

Materjal on amorfne süsinik või germaanium.

5. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudluspunktile 4, mida iseloomustab see, et kaitsekiht

Materjal on amorfne süsinik;

Ohvermaterjali kihi söövitamise protsessis kasutatavad söövitusgaasid hõlmavad O2, CO, N2 ja Ar;

Ohvrimaterjali kihi söövitamise protsessi parameetrid on järgmised: O2 vooluvahemik on 18 SCCM ~ 22 SCCM ja CO voolukiirus on 10%.

Voolukiirus on vahemikus 90 SCCM kuni 110 SCCM, N2 voolukiirus on vahemikus 90 SCCM kuni 110 SCCM ja Ar voolukiirus.

Vahemik on 90 SCCM ~ 110 SCCM, rõhuvahemik on 90 mtor ~ 110 mtor ja kallutatav võimsus on

540w～660w.