Rakendatav Passat Fuel'i ühise raudteerõhu anduri 06E906051K

1. Meetod rõhuanduri moodustamiseks, mis koosneb:

Pakkudes pooljuhtide substraati, kus moodustub pooljuhtide substraadil esimene vahepalade dielektriline kiht, esimene vahepalade dielektriline kiht ja teine ​​vahepalade dielektriline kiht.

Alumine elektroodiplaat esimeses vahepalade dielektrilises kihis, esimene vastastikune elektrood, mis asub samal kihil kui alumine elektroodiplaat ja asetses üksteisest.

Ühenduskihid;

Moodustades ohverdamiskihi alumise polaarplaadi kohal;

Moodustades ülemise elektroodiplaadi esimesele vahepala dielektrilisele kihile, esimesele ühenduskihile ja ohverdamiskihile;

Pärast ohverduskihi moodustamist ja enne ülemise plaadi moodustamist esimeses ühenduskihis

Ühenduse soone moodustamine ja ühenduse soone täitmine ülemise plaadiga ühendamiseks esimese ühenduskihiga; Või

Pärast ülemise elektroodiplaadi moodustamist moodustuvad ülemisel elektroodiplaadil ja esimesel ühenduskihil ühendus sooned, mis

Moodustades juhtiv kihi, mis ühendab ülemist elektroodiplaati, ja esimene ühenduskiht ühenduses soones;

Pärast ülemise plaadi ja esimese ühenduskihi elektrilist ühendamist, eemaldades ohverduskihi õõnsuse moodustamiseks.

2. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudele 1, kus esimeses kihis

Ohverdamiskihi moodustamise meetod vahepalade dielektrilisel kihil koosneb järgmistest sammudest:

Ohverdatava materjali kihi hoiustamine esimesele vahepalade dielektrilisele kihile;

Ohverdamismaterjali kihi kujundamine ohverdatud kihi moodustamiseks.

3. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudele 2, kus kasutatakse fotolitograafiat ja graveeringut.

Ohverdamismaterjali kiht mustriks on söövitusprotsess.

4. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudele 3, milles ohverlik kiht

Materjal on amorfne süsinik või germaanium.

5. Meetod rõhuanduri moodustamiseks vastavalt nõudele 4, kus ohverdatakse kihti

Materjal on amorfne süsinik;

Ohverduskihi söövitamise protsessis kasutatud söövitusgaasid hõlmavad O2, CO, N2 ja AR;

Ohverduskihi söövitamise parameetrid on: O2 vooluvahemik on 18 SCCM ~ 22 SCCM ja CO voolukiirus on 10%.

Voolukiirus on vahemikus 90 SCCM kuni 110 SCCM, N2 voolukiirus on vahemikus 90 SCCM kuni 110 SCCM ja AR voolukiirus.

Vahemik on 90 SCCM ~ 110 SCCM, rõhuvahemik on 90 mtor ~ 110 mtor ja eelarvamuste võimsus on

540W ～ 660W。