Pooljuhtide rõhuandurid võib jagada kahte kategooriasse, millest üks põhineb põhimõttel, et pooljuhtide PN-ristmiku (või Schottky ristmiku) I -υ omadused muutuvad stressi all. Selle rõhutundliku elemendi jõudlus on väga ebastabiilne ja seda pole eriti arenenud. Teine on andur, mis põhineb pooljuhtide piezoresistlikul efektil, mis on pooljuhtide rõhuanduri peamine sort. Esimestel päevadel kinnitati pooljuhtide tüve gabariidid enamasti elastsete elementide külge, et teha mitmesuguseid stressi ja pinge mõõtevahendeid. 1960. aastatel, kui pooljuhtide integreeritud vooluahelatehnoloogia väljatöötamisega, ilmnes piezoresistliku elemendiga difusioontakistiga pooljuhtide rõhuandur. Sellisel rõhuanduril on lihtne ja usaldusväärne struktuur, mis puudub suhteline liikuv osa ning integreeritakse anduri rõhutundlik element ja elastne element, mis väldib mehaanilist mahajäämust ja hiilimist ning parandab anduri jõudlust.

Pooljuhtide pooljuhtide piezoresistlikul mõjul on omadus, mis on seotud välise jõuga, see tähendab, et takistus (tähistab sümbol ρ) muutusi, mida tema kannab, mida nimetatakse piezoresistlikuks efektiks. Vastupidavuse suhtelist muutust ühiku pinge toimel nimetatakse piezoresistliku koefitsiendiks, mida ekspresseerib sümbol π. Väljendatud matemaatiliselt kui ρ/ρ = π σ.

Kus σ tähistab stressi. Pooljuhtide resistentsusest pinge korral põhjustatud takistuse väärtuse (R/R) muutus määrab peamiselt takistuse muutuse, seega saab piezoresistliku efekti ekspressiooni kirjutada ka kui r/r = πσ.

Välise jõu toimimisel genereeritakse pooljuhtide kristallides teatud pinge (σ) ja tüvi (ε) ja nendevaheline seos määratakse noore materjali moodul (y), see tähendab y = σ/ε.

Kui piezoresistlikku efekti ekspresseerub pooljuhi tüvega, on see R/R = Gε.

G nimetatakse rõhuanduri tundlikkuse teguriks, mis tähistab takistuse väärtuse suhtelist muutust ühiku tüve all.

Piezoresistive koefitsient või tundlikkuse tegur on pooljuhtide piezoresistilise efekti peamine füüsikaline parameeter. Nende vaheline seos, nagu ka stressi ja pinge vaheline seos, määrab noore materjali moodul, see tähendab g = π y.

Pooljuhtide kristallide anisotroopia tõttu elastsuses muutub Youngi moodul ja piezoresistlik koefitsient kristalli orientatsiooniga. Pooljuhtide piezoresistliku toime suurus on tihedalt seotud ka pooljuhtide vastupidavusega. Mida madalam on takistus, seda väiksem on tundlikkuse tegur. Difusioonikindluse piezoresistlik toime määratakse difusioonikindluse kristallide orientatsiooni ja lisandite kontsentratsiooni abil. Lisandite kontsentratsioon viitab peamiselt difusioonikihi pinna lisandi kontsentratsioonile.