Pooljuhtide rõhuandurid võib jagada kahte kategooriasse, millest üks põhineb põhimõttel, et pooljuhtide PN-siirde (või Schottky-siirde) I-υ omadused muutuvad pinge all.Selle rõhutundliku elemendi jõudlus on väga ebastabiilne ja seda ei ole palju arendatud.Teine on pooljuhtide piesoresistiivsel efektil põhinev andur, mis on pooljuhtide rõhuanduri peamine valik.Algusaegadel kinnitati pooljuhttensoandurid enamasti elastsete elementide külge, et valmistada erinevaid pinge- ja deformatsioonimõõtevahendeid.1960. aastatel, pooljuhtide integraallülituse tehnoloogia arenedes, ilmus pooljuhtide rõhuandur, millel oli piesoresistiivse elemendina difusioontakisti.Seda tüüpi rõhuanduril on lihtne ja usaldusväärne struktuur, suhtelised liikuvad osad puuduvad ning anduri rõhutundlik element ja elastne element on integreeritud, mis väldib mehaanilist viivitust ja roomamist ning parandab anduri jõudlust.

Pooljuhi piesotakistuslik efekt Pooljuhil on välisjõuga seotud omadus, st takistus (tähistatakse sümboliga ρ) muutub koos sellele avalduva pingega, mida nimetatakse piezoresistiivseks efektiks.Eritakistuse suhtelist muutust ühikpinge mõjul nimetatakse piezoresistiivseks koefitsiendiks, mida väljendatakse sümboliga π.Matemaatiliselt väljendatuna ρ/ρ = π σ.

Kus σ tähistab stressi.Pooljuhtide takistusest põhjustatud takistuse väärtuse (R/R) muutumine pinge all on peamiselt määratud takistuse muutumisega, seega saab piezoresistiivse efekti avaldise kirjutada ka kujul R/R=πσ.

Välise jõu mõjul tekib pooljuhtkristallides teatud pinge (σ) ja deformatsioon (ε), mille vahelise seose määrab materjali Youngi moodul (Y) ehk Y=σ/ε.

Kui piezoresistiivset efekti väljendab pooljuhi pinge, on see R/R=Gε.

G nimetatakse rõhuanduri tundlikkusteguriks, mis tähistab takistuse väärtuse suhtelist muutust ühikulise pinge all.

Piesoresistiivne koefitsient või tundlikkustegur on pooljuhtide piesoresistiivse efekti füüsikaline põhiparameeter.Nendevahelise seose, nagu ka pinge ja deformatsiooni suhte, määrab materjali Youngi moodul, st g = π y.

Pooljuhtkristallide elastsuse anisotroopia tõttu muutuvad Youngi moodul ja piezoresisiivne koefitsient kristallide orientatsiooniga.Pooljuhtide piezoresistiivse efekti suurus on samuti tihedalt seotud pooljuhtide eritakistusega.Mida väiksem on takistus, seda väiksem on tundlikkustegur.Difusioonitakistuse piezoresistiivne toime määratakse kristallide orientatsiooni ja difusioonitakistuse lisandite kontsentratsiooniga.Lisandite kontsentratsioon viitab peamiselt difusioonikihi pinna lisandite kontsentratsioonile.